电子束通过宽度能跟电子波长相当的空间时所发生的^*衍射(diffraction)。例如，晶体中粒子间的间隔能使电子发生衍射。这一效应受^*布喇格定律(Bragg’slaw)控制。具体地说，衍射为一种波效应，故电子衍射也证实了电子具有波动效应的特征。人们用这种效应来研究表面层结构、薄层材料结构等等。