“electron beam lithography”概念、定义、翻译-科学时代

编者注：本词条为中国台湾地区学术名词用语，仅供参考。　

单词

electron beam lithography

释义

electron beam lithography

电子束光刻

电机工程名词

electron beam lithography

电子束平版印刷术

电子计算机名词

electron beam lithography

电子束微影术

机械工程名词

electron beam lithography

电子束微影术

电子工程名词

electron beam lithography

电子束石刻术；电子束微影术

材料科学名词

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