编者注：本词条为中国台湾地区学术名词用语，仅供参考。
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半导体制造设备管理系统 |
| 释义 |
| semiconductor fabricating equipments management system | 半导体制造设备管理系统 | 电子工程名词 |
| semiconductor fabricating equipments management system | 半导体制造设备管理系统 | 电机工程名词 |
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