“感应耦合等离子体增强化学气相沉积”概念、定义、翻译-科学时代

单词	感应耦合等离子体增强化学气相沉积
释义	核科学技术词汇手册感应耦合等离子体增强化学气相沉积 ICPECVD （inductively coupled plasma enhance chemical vapour deposition）
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