“ICPECVD（inductively coupled plasma enhance chemical vapour deposition）”概念、定义、翻译-科学时代

单词	ICPECVD（inductively coupled plasma enhance chemical vapour deposition）
释义	核科学技术词汇手册 ICPECVD（inductively coupled plasma enhance chemical vapour deposition）感应耦合等离子体增强化学气相沉积
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